匀光装置及其制备方法

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	匀光装置及其制备方法
其他题名	匀光装置及其制备方法
	尹磊; 刘红忠; 陈邦道; 史永胜
	2017-09-22
专利权人	常州瑞丰特科技有限公司
公开日期	2017-09-22
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了一种匀光装置及其制备方法，该匀光装置包括：第一电极板、第二电极板、第三电极板、第四电极板、基底和液态透镜，基底上设置有第一电极板、第二电极板、第三电极板和第四电极板，第一电极板和第二电极板组成第一组平行板电容器，第三电极板和第四电极板组成第二组平行板电容器，液态透镜的底部被镶嵌在基底上且液态透镜位于第一组平行板电容器和第二组平行板电容器之间。制备方法：基底上光刻胶图形化；溅射ZnO层；水浴生长ZnO纳米结构；氟表面处理；残余光刻胶去除；传感器封装。本发明能够将不均匀的光强分布利用液态透镜振动的方式转化为均匀的光强分布，具有可调节性强、可持续利用等优点。
其他摘要	本发明公开了一种匀光装置及其制备方法，该匀光装置包括：第一电极板、第二电极板、第三电极板、第四电极板、基底和液态透镜，基底上设置有第一电极板、第二电极板、第三电极板和第四电极板，第一电极板和第二电极板组成第一组平行板电容器，第三电极板和第四电极板组成第二组平行板电容器，液态透镜的底部被镶嵌在基底上且液态透镜位于第一组平行板电容器和第二组平行板电容器之间。制备方法：基底上光刻胶图形化；溅射ZnO层；水浴生长ZnO纳米结构；氟表面处理；残余光刻胶去除；传感器封装。本发明能够将不均匀的光强分布利用液态透镜振动的方式转化为均匀的光强分布，具有可调节性强、可持续利用等优点。
主权项	一种匀光装置，其特征在于，包括：第一电极板、第二电极板、第三电极板、第四电极板、基底和液态透镜，基底上设置有第一电极板、第二电极板、第三电极板和第四电极板，第一电极板和第二电极板组成第一组平行板电容器，第三电极板和第四电极板组成第二组平行板电容器，液态透镜的底部被镶嵌在基底上且液态透镜位于第一组平行板电容器和第二组平行板电容器之间。
申请日期	2017-06-27
专利号	CN107195764A
专利状态	申请中
申请号	CN201710499770.9
公开（公告）号	CN107195764A
IPC 分类号	H01L33/58 \| H01L33/62
专利代理人	张利强
代理机构	苏州广正知识产权代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/56114
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	常州瑞丰特科技有限公司
推荐引用方式 GB/T 7714	尹磊,刘红忠,陈邦道,等. 匀光装置及其制备方法. CN107195764A[P]. 2017-09-22.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN107195764A.PDF（160KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文