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半导体激光器芯片、其封装方法及半导体激光器
其他题名半导体激光器芯片、其封装方法及半导体激光器
赵碧瑶; 井红旗; 刘翠翠; 刘素平; 马骁宇
2019-09-27
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2019-09-27
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要一种半导体激光器芯片、其封装方法及半导体激光器,该封装方法包括:在过渡热沉的凸台上镀焊料,得到过渡热沉一;在过渡热沉一上封装半导体激光器芯片;将得到的过渡热沉与半导体激光器芯片键合连接。本发明的绝热封装方法中空气隙的引入改变了热流动情况,使得几乎所有热量通过热沉的凸台流向底部热沉,使得激光器芯片中心导热性能优于两侧,其温度下降更快,整个激光器芯片温度更均匀,削弱了热透镜效应。
其他摘要一种半导体激光器芯片、其封装方法及半导体激光器,该封装方法包括:在过渡热沉的凸台上镀焊料,得到过渡热沉一;在过渡热沉一上封装半导体激光器芯片;将得到的过渡热沉与半导体激光器芯片键合连接。本发明的绝热封装方法中空气隙的引入改变了热流动情况,使得几乎所有热量通过热沉的凸台流向底部热沉,使得激光器芯片中心导热性能优于两侧,其温度下降更快,整个激光器芯片温度更均匀,削弱了热透镜效应。
主权项一种半导体激光器芯片的封装方法,其特征在于,包括如下步骤: (1)在过渡热沉的凸台上镀焊料,得到过渡热沉一; (2)在过渡热沉一上封装半导体激光器芯片; (3)将步骤(2)得到的过渡热沉与半导体激光器芯片键合连接。
申请日期2019-06-20
专利号CN110289549A
专利状态申请中
申请号CN201910540105.9
公开(公告)号CN110289549A
IPC 分类号H01S5/022 | H01S5/024
专利代理人喻颖
代理机构中科专利商标代理有限责任公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55557
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院半导体研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
赵碧瑶,井红旗,刘翠翠,等. 半导体激光器芯片、其封装方法及半导体激光器. CN110289549A[P]. 2019-09-27.
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