Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
一种半导体激光器结构及其制备方法 | |
其他题名 | 一种半导体激光器结构及其制备方法 |
任夫洋; 苏建; 陈康; 刘青; 郑兆河; 徐现刚 | |
2019-09-10 | |
专利权人 | 山东华光光电子股份有限公司 |
公开日期 | 2019-09-10 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明申请 |
摘要 | 本发明涉及一种半导体激光器结构及其制备方法。所述半导体激光器结构包括由下至上依次设置的N‑金属层、N‑电流阻挡层、衬底、外延材料层、P‑电流阻挡层及P‑金属层;所述衬底下表面有设置有周期性排列孔洞和N‑电流阻挡层。本发明在衬底减薄后设置孔洞及电流阻挡层,释放外延片内部应力,N面焊接封装时增大与焊料接触面积,键合牢固,缓冲热应力,同时限制电流注入区域,提高光电转换效率。 |
其他摘要 | 本发明涉及一种半导体激光器结构及其制备方法。所述半导体激光器结构包括由下至上依次设置的N‑金属层、N‑电流阻挡层、衬底、外延材料层、P‑电流阻挡层及P‑金属层;所述衬底下表面有设置有周期性排列孔洞和N‑电流阻挡层。本发明在衬底减薄后设置孔洞及电流阻挡层,释放外延片内部应力,N面焊接封装时增大与焊料接触面积,键合牢固,缓冲热应力,同时限制电流注入区域,提高光电转换效率。 |
主权项 | 一种半导体激光器结构,包括由下至上依次设置的N-金属层、N-电流阻挡层、衬底、外延材料层、P-电流阻挡层及P-金属层;其中, 所述外延材料层上有周期性设置的脊条、位于脊条两侧的沟槽和位于沟槽外侧的肩部;形成带肩脊条结构; 在所述的脊条、沟槽和肩部的表面设置有P-电流阻挡层;所述P-电流阻挡层在脊条位置设有窗口1,且窗口1宽度小于脊条宽度;形成P面; 在衬底下表面对应于P面的肩部区域上有周期性设置的孔洞或沟道; 所述衬底下表面设置有N-电流阻挡层;所述N-电流阻挡层在对应于所述脊条位置设有窗口2,窗口2位置及宽度与所述窗口1相同。 |
申请日期 | 2018-03-02 |
专利号 | CN110224300A |
专利状态 | 申请中 |
申请号 | CN201810176096.5 |
公开(公告)号 | CN110224300A |
IPC 分类号 | H01S5/22 | H01S5/32 |
专利代理人 | 陈桂玲 |
代理机构 | 济南金迪知识产权代理有限公司 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55518 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 山东华光光电子股份有限公司 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 任夫洋,苏建,陈康,等. 一种半导体激光器结构及其制备方法. CN110224300A[P]. 2019-09-10. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN110224300A.PDF(422KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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