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微腔芯片型激光自混合距离传感方法
其他题名微腔芯片型激光自混合距离传感方法
吕亮; 曹志刚; 俞本立; 向荣; 王德辉; 周俊峰; 桂华侨; 刘建国; 王焕钦; 张道信; 赵云坤
2019-06-04
专利权人安徽大学
公开日期2019-06-04
授权国家中国
专利类型授权发明
摘要本发明涉及激光自混合传感技术领域,现有的激光自混合振动距离传感系统难以实现高精度、高探测灵敏度的传感测量且结构难以做到真正意义的微型化,无法与现代通讯系统的芯片做到很好的集成,无法大规模集成开发和应用。针对上述问题,本发明提供一种微腔芯片型激光自混合距离传感方法及系统,该方法基于激光自混合干涉测量原理和光学微腔调谐原理,利用光学微腔构建激光自混合传感系统,实现了高精度,高灵敏度的传感测量,同时因系统具有微型化的优点,更加适合于大规模芯片制造加工,更加适合于狭小场合、复杂环境下的现场测量,并且能够与目前光纤通讯中的商用系统充分结合,低成本,高效地实现远程及特殊应用场合传感及数据处理。
其他摘要本发明涉及激光自混合传感技术领域,现有的激光自混合振动距离传感系统难以实现高精度、高探测灵敏度的传感测量且结构难以做到真正意义的微型化,无法与现代通讯系统的芯片做到很好的集成,无法大规模集成开发和应用。针对上述问题,本发明提供一种微腔芯片型激光自混合距离传感方法及系统,该方法基于激光自混合干涉测量原理和光学微腔调谐原理,利用光学微腔构建激光自混合传感系统,实现了高精度,高灵敏度的传感测量,同时因系统具有微型化的优点,更加适合于大规模芯片制造加工,更加适合于狭小场合、复杂环境下的现场测量,并且能够与目前光纤通讯中的商用系统充分结合,低成本,高效地实现远程及特殊应用场合传感及数据处理。
申请日期2016-04-20
专利号CN105790070B
专利状态授权
申请号CN201610255736.2
公开(公告)号CN105790070B
IPC 分类号H01S5/10
专利代理人张欢勇
代理机构无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49397
专题半导体激光器专利数据库
作者单位安徽大学
推荐引用方式
GB/T 7714
吕亮,曹志刚,俞本立,等. 微腔芯片型激光自混合距离传感方法. CN105790070B[P]. 2019-06-04.
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CN105790070B.PDF(582KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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