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单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法
其他题名单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法
朱刚毅; 王永进
2019-01-08
专利权人南京邮电大学
公开日期2019-01-08
授权国家中国
专利类型授权发明
摘要本发明公开了一种单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法,在硅衬底上的氮化物材料,利用光刻工艺和硅刻蚀工艺制备悬空非对称环形薄膜微腔,该微腔的水平横截面形状是“圆环+锥角+缺口”,在微腔缺口中修饰金纳米棒作为半导体饱和吸收体,在光泵浦条件下,金纳米棒对微腔中的激光进行选模调制,最终实现单方向发射的氮化物锁模回音壁模激光。
其他摘要本发明公开了一种单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法,在硅衬底上的氮化物材料,利用光刻工艺和硅刻蚀工艺制备悬空非对称环形薄膜微腔,该微腔的水平横截面形状是“圆环+锥角+缺口”,在微腔缺口中修饰金纳米棒作为半导体饱和吸收体,在光泵浦条件下,金纳米棒对微腔中的激光进行选模调制,最终实现单方向发射的氮化物锁模回音壁模激光。
申请日期2016-12-19
专利号CN106785899B
专利状态授权
申请号CN201611181916.7
公开(公告)号CN106785899B
IPC 分类号H01S5/065 | H01S5/10
专利代理人刘琦
代理机构江苏爱信律师事务所
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49347
专题半导体激光器专利数据库
作者单位南京邮电大学
推荐引用方式
GB/T 7714
朱刚毅,王永进. 单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法. CN106785899B[P]. 2019-01-08.
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