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基于金属腔的表面等离激元激光器
其他题名基于金属腔的表面等离激元激光器
温秋玲; 张家森; 徐西鹏
2018-10-02
专利权人华侨大学
公开日期2018-10-02
授权国家中国
专利类型实用新型
摘要本实用新型公开了一种基于金属腔的表面等离激元激光器,包括表面等离激元波导和金属腔。本实用新型的金属腔是利用刻蚀技术嵌入在表面等离激元波导中作为激光器的谐振腔,因此金属腔的形状和尺寸可精确控制。由于金属腔的腔镜对腔中表面等离激元模式的反射率超过90%,使得金属腔中表面等离激元激光的Q值高达1170。本实用新型的表面等离激元激光器采用金属腔作为激光器的谐振腔,具有物理尺寸小、品质因数大、形状和尺寸可精确控制、制备工艺简单成熟、室温工作,可与电子芯片兼容等优点。
其他摘要本实用新型公开了一种基于金属腔的表面等离激元激光器,包括表面等离激元波导和金属腔。本实用新型的金属腔是利用刻蚀技术嵌入在表面等离激元波导中作为激光器的谐振腔,因此金属腔的形状和尺寸可精确控制。由于金属腔的腔镜对腔中表面等离激元模式的反射率超过90%,使得金属腔中表面等离激元激光的Q值高达1170。本实用新型的表面等离激元激光器采用金属腔作为激光器的谐振腔,具有物理尺寸小、品质因数大、形状和尺寸可精确控制、制备工艺简单成熟、室温工作,可与电子芯片兼容等优点。
申请日期2018-01-04
专利号CN207938961U
专利状态授权
申请号CN201820011680.0
公开(公告)号CN207938961U
IPC 分类号H01S5/028 | H01S5/04 | H01S5/10 | H01S5/30
专利代理人张松亭 | 张迪
代理机构厦门市首创君合专利事务所有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49323
专题半导体激光器专利数据库
作者单位华侨大学
推荐引用方式
GB/T 7714
温秋玲,张家森,徐西鹏. 基于金属腔的表面等离激元激光器. CN207938961U[P]. 2018-10-02.
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