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一种宏通道液冷高功率半导体激光器模块和装置
其他题名一种宏通道液冷高功率半导体激光器模块和装置
刘兴胜; 蔡万绍; 陶春华; 邢卓; 梁雪杰
2019-01-08
专利权人西安炬光科技股份有限公司
公开日期2019-01-08
授权国家中国
专利类型授权发明
摘要本发明提出一种宏通道液冷高功率半导体激光器模块及其多模块组合形成的装置,采用独特的热沉设计与芯片组结合,结构性好,散热效率高。该宏通道液冷高功率半导体激光器模块包括热沉和芯片组,芯片组的各个激光器芯片键合在相应的导热导电的衬底上,各个激光器芯片及其衬底依次堆叠并形成电连接,衬底经绝缘层安装在同一热沉上;沿激光器芯片及其衬底的堆叠方向,在垂直于芯片组安装面的热沉侧面贯通开设有相互平行的入水口和出水口,热沉内部设置有宏通道的液冷回路。多个模块能够很方便地机械组装、维护,实现功率的弹性扩展。且每个模块自成功能单元,可以真正在工作状态下单独进行测试、老化、筛选,以实现最终产品的优化性能。
其他摘要本发明提出一种宏通道液冷高功率半导体激光器模块及其多模块组合形成的装置,采用独特的热沉设计与芯片组结合,结构性好,散热效率高。该宏通道液冷高功率半导体激光器模块包括热沉和芯片组,芯片组的各个激光器芯片键合在相应的导热导电的衬底上,各个激光器芯片及其衬底依次堆叠并形成电连接,衬底经绝缘层安装在同一热沉上;沿激光器芯片及其衬底的堆叠方向,在垂直于芯片组安装面的热沉侧面贯通开设有相互平行的入水口和出水口,热沉内部设置有宏通道的液冷回路。多个模块能够很方便地机械组装、维护,实现功率的弹性扩展。且每个模块自成功能单元,可以真正在工作状态下单独进行测试、老化、筛选,以实现最终产品的优化性能。
授权日期2019-01-08
申请日期2015-12-15
专利号CN105470810B
专利状态授权
申请号CN201510941464.7
公开(公告)号CN105470810B
IPC 分类号H01S5/024
专利代理人胡乐
代理机构西安智邦专利商标代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38023
专题半导体激光器专利数据库
作者单位西安炬光科技股份有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
刘兴胜,蔡万绍,陶春华,等. 一种宏通道液冷高功率半导体激光器模块和装置. CN105470810B[P]. 2019-01-08.
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