Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
Substrate emitting vertical-cavity surface-emitting laser | |
其他题名 | Substrate emitting vertical-cavity surface-emitting laser |
SIRBU, ALEXEI; IAKOVLEV, VLADIMIR; BERK, YURI; MENTOVICH, ELAD | |
2019-10-29 | |
专利权人 | MELLANOX TECHNOLOGIES, LTD. |
公开日期 | 2019-10-29 |
授权国家 | 美国 |
专利类型 | 授权发明 |
摘要 | A vertical-cavity surface-emitting laser (VCSEL), substrate emitting VCSEL, and multi-beam emitting device and corresponding manufacturing processes are provided. An example VCSEL comprises a substrate having a first surface and a second surface; an output coupling mirror disposed on the second surface of the substrate; a high reflectivity mirror; and an active cavity material structure disposed between the output coupling mirror and the high reflectivity mirror. The active cavity material structure comprises a first current-spreading layer, a second current-spreading layer, an active region disposed between the first current-spreading layer and the second current-spreading layer, and a tunnel junction overgrown by the second current spreading layer, wherein the tunnel junction is disposed adjacent the active region. The VCSEL is configured to emit radiation outward through the first surface of the substrate. |
其他摘要 | 提供了垂直腔表面发射激光器(VCSEL),基板发射VCSEL和多光束发射装置以及相应的制造工艺。 VCSEL的示例包括具有第一表面和第二表面的基板;以及输出耦合镜设置在基板的第二表面上;高反射镜;有源腔材料结构,设置在输出耦合镜与高反射率镜之间。有源腔体材料结构包括第一电流扩散层,第二电流扩散层,设置在第一电流扩散层与第二电流扩散层之间的有源区以及由第二电流扩散层过度生长的隧道结。 ,其中隧道结布置在有源区附近。 VCSEL被配置为通过基板的第一表面向外发射辐射。 |
申请日期 | 2018-04-04 |
专利号 | US10461507 |
专利状态 | 授权 |
申请号 | US15/944955 |
公开(公告)号 | US10461507 |
IPC 分类号 | H01S5/42 | H01S5/183 | H01S5/187 | H01S5/042 | H01S5/022 | H01S5/028 | H01S5/40 | H01S5/343 |
专利代理人 | - |
代理机构 | ALSTON & BIRD LLP |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/32157 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | MELLANOX TECHNOLOGIES, LTD. |
推荐引用方式 GB/T 7714 | SIRBU, ALEXEI,IAKOVLEV, VLADIMIR,BERK, YURI,et al. Substrate emitting vertical-cavity surface-emitting laser. US10461507[P]. 2019-10-29. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
US10461507.PDF(1337KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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