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一种X射线聚焦镜垂直装调系统及方法
其他题名一种X射线聚焦镜垂直装调系统及方法
强鹏飞; 盛立志; 李林森; 刘哲; 周晓红; 刘永安; 赵宝升
2018-12-21
专利权人中国科学院西安光学精密机械研究所
公开日期2018-08-07
授权国家中国
专利类型发明专利
产权排序1
摘要本发明涉及一种X射线聚焦镜垂直装调系统及方法,解决了聚焦镜筒在装配过程中引入重力对面型产生的影响以及装调精度较低的问题。该系统包括平行光管、聚焦镜筒、聚焦镜装调系统、半透半反镜、反射镜、接收屏幕、CCD相机和计算机;聚焦镜装调系统包括固定盘、微分头、吊绳及滑轮,滑轮固定设置在固定盘上,吊绳的一端与微分头连接,另一端与聚焦镜筒连接;平行光管的出射光垂直进入聚焦镜筒,经聚焦镜筒的出射光通过半透半反镜分为两束,一束直接入射至接收屏幕,另一束通过反射镜后反射至接收屏幕,两束光在形成焦前、焦后的焦斑质心,CCD相机将焦斑质心记录传递至计算机。同时,本发明还提供了一种基于上述系统的装调方法。
主权项一种X射线聚焦镜垂直装调系统,其特征在于:包括平行光管(1)、固定座(9)、聚焦镜装调系统(11)、半透半反镜(4)、反射镜(6)、接收屏幕(7)、CCD相机(8)和计算机; 所述聚焦镜装调系统(11)用于对聚焦镜筒(3)的姿态进行调整,所述聚焦镜装调系统(11)包括固定盘(10)、多个微分头(13)、多个吊绳(12)及多个滑轮(14),所述滑轮(14)固定设置在固定盘(10)上,所述吊绳(12)的一端与微分头(13)连接,另一端穿过滑轮(14)与聚焦镜筒(3)连接,所述聚焦镜筒(3)的姿态调整完成后安装在固定座(9)上; 所述平行光管(1)的出射光垂直进入聚焦镜筒(3),经聚焦镜筒(3)的出射光通过半透半反镜(4)分为两束,一束直接入射至接收屏幕(7),另一束通过反射镜(6)后反射至接收屏幕(7),两束光在接收屏幕(7)上形成焦前、焦后的焦斑质心,CCD相机(8)将焦斑质心记录传递至计算机,计算机用于质心坐标的对比处理。
学科领域G01m1/12
学科门类G01
授权日期2018-12-21
DOIG01M1
申请日期2018-04-27
专利号CN201810392692.7
语种中文
专利状态申请中
申请号CN201810392692.7
PCT属性
公开(公告)号CN108375453A
IPC 分类号G01M1/12 ; G21K1/08
专利代理人杨引雪
代理机构西安智邦专利商标代理有限公司
引用统计
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/31042
专题其它单位_其它部门
作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
第一作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
强鹏飞,盛立志,李林森,等. 一种X射线聚焦镜垂直装调系统及方法. CN201810392692.7[P]. 2018-12-21.
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