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取样劈板的取样率及取样均匀性干涉测量系统及方法
其他题名取样劈板的取样率及取样均匀性干涉测量系统及方法
达争尚; 高立民; 陈永权; 李红光
2018-12-21
专利权人中国科学院西安光学精密机械研究所
公开日期2018-09-18
授权国家中国
专利类型发明专利
产权排序1
摘要本发明属于取样劈板的取样率及取样均匀性干涉测量系统及方法,系统包括沿光路依次设置的缩束望远镜及自准反射镜;待测取样劈板位于缩束望远镜与自准反射镜之间;缩束望远镜输出平行激光,投射至待测取样劈板的取样反射面取样,部分激光被待测取样劈板的取样反射面反射至缩束望远镜;另一部分激光透过待测取样劈板入射至自准反射镜,经自准反射镜反射后透过待测取样劈板进入缩束望远镜。解决了传统测量方法对于小份额取样率不易实现高的测量精度的问题。
主权项-
学科领域G01m11/02
学科门类G01
授权日期2018-12-21
DOIG01M11
申请日期2018-03-26
专利号CN201810253356.4
语种中文
专利状态申请中
申请号CN201810253356.4
PCT属性
公开(公告)号CN108548660A
IPC 分类号G01M11/02
专利代理人汪海艳
代理机构西安智邦专利商标代理有限公司
引用统计
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/31010
专题其它单位_其它部门
作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
第一作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
达争尚,高立民,陈永权,等. 取样劈板的取样率及取样均匀性干涉测量系统及方法. CN201810253356.4[P]. 2018-12-21.
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