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基于声光可调谐滤波器的光学相干显微光谱成像探测装置
其他题名基于声光可调谐滤波器的光学相干显微光谱成像探测装置
王鹏冲; 胡炳樑; 魏儒义; 陈莎莎; 吴银花; 崔昕昕; 韩亚娟; 韩意庭
2018-11-27
专利权人中国科学院西安光学精密机械研究所
公开日期2018-11-27
授权国家中国
专利类型实用新型
产权排序1
摘要本实用新型涉及一种基于声光可调谐滤波器的光学相干显微光谱成像探测装置,该装置可以超速的、高精度的、无接触的进行物体表面光谱成像和表面三维强度信息探测。该装置中光源产生的辐射光被光纤耦合器分为两束光;一束光被第一偏振控制调制后再经第一准直透镜组准直后被可沿X向移动的反射镜反射后形成参考光,参考光沿原路返回至2×2光纤耦合器;另一束光被第一聚焦透镜聚焦在样品上后产生样品反射光,样品反射光与参考光在2×2光纤耦合器内产生干涉光,干涉光被第二准直透镜组准直后再由第二偏振控制调制进入AOTF滤波单元中;AOTF滤波单元中产生偏振光然后被探测器采集,探测器与计算机连接;光谱信息经计算机处理后可得到样品的三维层析图像。
主权项一种基于声光可调谐滤波器的光学相干显微光谱成像探测装置,其特征在于: 包括光源、光隔离器、光纤、2×2光纤耦合器、第一准直透镜组、第二准直透镜组、第一聚焦透镜、第二聚焦透镜、第一偏振控制、第二偏振控制、第三偏振控制、AOTF滤波单元、反射镜、探测器以及计算机; 光源产生的辐射光依次经过光隔离器和2×2的光纤耦合器后被分为两束光; 其中一束光被第一偏振控制调制后再经第一准直透镜组准直后被可沿X向移动的反射镜反射后形成参考光,所述参考光沿原路返回至2×2光纤耦合器; 另一束光被第一聚焦透镜聚焦在可沿Y、Z方向振动的样品后产生样品反射光,样品反射光与参考光在2×2光纤耦合器内发生干涉后产生干涉光,干涉光被第二准直透镜组准直后再由第二偏振控制调制进入AOTF滤波单元中;干涉光在AOTF滤波单元中与AOTF滤波单元产生的超声波发生声光互作用从而产生偏振光,满足动量匹配条件的偏振光被衍射,被衍射的偏振光经第二聚焦透镜聚焦后被探测器采集,未被衍射的偏振光被第三偏振控制滤掉,最后探测器把光谱信息传输给计算机; 光谱信息经计算机处理后得到样品不同深度的结构信息,再配合计算机获取的可沿Y、Z方向振动的样品图像信息,即可得到样品的三维层析图像。
授权日期2018-11-27
申请日期2018-04-13
专利号CN201820526797.2
语种中文
专利状态已授权
申请号CN201820526797.2
PCT属性
公开(公告)号CN208155456U
IPC 分类号G01J3/28
专利代理人唐沛
代理机构西安智邦专利商标代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/30933
专题其它单位_其它部门
作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
第一作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
王鹏冲,胡炳樑,魏儒义,等. 基于声光可调谐滤波器的光学相干显微光谱成像探测装置. CN201820526797.2[P]. 2018-11-27.
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