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深紫外谱段离轴四反光学成像系统
闫亚东; 何俊华; 许瑞华; 李奇
2017-01-24
公开日期2017-05-10
授权国家中国
专利类型发明
摘要本发明提供了一种深紫外离轴四反光学成像系统,采用四个离轴设置的离轴反射镜,将成像系统入射光线主光轴经特殊位置和特定型号的光学元件多次反射(即对光束折叠),输出与成像系统入射光线主光轴平行的出射光线,结构紧凑、能够应用于狭小空间。
主权项0001.1.深紫外谱段离轴四反光学成像系统,定义物面中心为坐标原点,向右为Z轴正向,向上为Y轴正向;其特征在于: 所述成像系统包括窗口、离轴反射镜一、离轴反射镜二、离轴反射镜三和离轴反射镜四; 定义成像系统入射光束的主光轴为主光轴一,离轴反射镜一反射光束的主光轴为主光轴二,离轴反射镜二反射光束的主光轴为主光轴三,离轴反射镜三反射光束的主光轴为主光轴四; 窗口为平行玻璃窗,位于成像系统入射光线的主光轴上并垂直于Z轴,窗口的前表面距坐标原点距离为600mm; 离轴反射镜一为球面凹反射镜,球面半径为1114.18mm,镜体口径为φ170mm;离轴反射镜一中心沿Y轴正向偏离所述主光轴一261.80mm,并绕X轴逆时针旋转9.378°;沿所述主光轴一方向,离轴反射镜一与窗口之间的距离为692.08mm; 离轴反射镜二为球面凸反射镜,球面半径为905.45mm,镜体口径为φ80mm;离轴反射镜二中心沿Y轴正向偏离所述主光轴一253.85mm,并绕X轴逆时针旋转6.208°;沿所述主光轴二方向,离轴反射镜二与离轴反射镜一之间的距离为692.08mm; 离轴反射镜三为球面凸反射镜,球面半径为1866.64,镜体口径为φ65mm;离轴反射镜三中心沿Y轴正向偏离所述主光轴一246.16mm,并绕X轴逆时针旋转13.12°;沿所述主光轴三方向,离轴反射镜三与离轴反射镜二之间的距离为471.47mm; 离轴反射镜四为凹面离轴抛物镜,抛物镜顶点处曲率半径为1326.64mm,镜体口径为φ 65mm;离轴反射镜四中心沿Y轴负向偏离所述主光轴一467.65mm,并绕X轴逆时针旋转 30.95°;沿所述主光轴四方向,离轴反射镜四与离轴反射镜三之间的距离为507.80mm。
授权日期2017-06-06
专利号CN201710060183.X
语种中文
专利状态审查中-实审
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/29786
专题先进光学仪器研究室
作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
闫亚东,何俊华,许瑞华,等. 深紫外谱段离轴四反光学成像系统. CN201710060183.X[P]. 2017-01-24.
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