Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 一种全光固态超快光探测器的制备方法 | |
曹伟伟; 王博 ; 徐鹏; 白永林; 白晓红; 朱炳利; 缑永胜; 秦君军; 刘白玉
| |
| 2017-01-23 | |
| 公开日期 | 2017-07-07 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 摘要 | 本发明属于超快诊断技术和半导体技术领域，具体涉及一种全光固态超快光探测器的制备方法，其特殊之处在于：包括以下步骤：1)在GaAs衬底上生长腐蚀停层，然后在腐蚀停层上低温生长2?5um的低温GaAs作为功能材料层，所述GaAs衬底、腐蚀停层和功能材料层共同组成外延片；2)在外延片的功能材料层上蒸镀多层介质膜作为上DBR；3)在石英基片上旋涂紫外固化胶，然后将镀完上DBR的外延片倒扣在带胶的石英基片上；4)将GaAs衬底逐渐减薄，直至使GaAs衬底消失并露出腐蚀停层；5)在露出的腐蚀停层上镀多层介质膜作为下DBR。主要解决了全光固态超快光探测器制作难度高的问题。 |
| 主权项 | 1)外延片制备：在GaAs衬底上生长腐蚀停层，然后在腐蚀停层上低温生长2-5um的低温 GaAs作为功能材料层，所述GaAs衬底、腐蚀停层和功能材料层共同组成外延片； |
| 授权日期 | 2017-08-01 |
| 专利号 | CN201710058864.2 |
| 语种 | 中文 |
| 专利状态 | 审查中-实审 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/29727 |
| 专题 | 条纹相机工程中心 |
| 作者单位 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曹伟伟,王博,徐鹏,等. 一种全光固态超快光探测器的制备方法. CN201710058864.2[P]. 2017-01-23. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN_106935681_A.pdf（122KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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