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一种采用MEMS工艺制备有机微通道板的方法
曹伟伟; 朱炳利; 秦君军; 白永林; 王博; 白晓红; 缑永胜; 刘百玉; 徐鹏
2016-07-18
公开日期2017-10-31
授权国家中国
专利类型发明
摘要本发明提供一种采用MEMS工艺制备有机微通道板的方法,包括以下步骤:采用MEMS工艺制备出具有高深宽比结构的硅基基底;2)采用ALD或化学气相沉积的方法在步骤1)制备的硅基基底上沉积有机物;3)通过机械减薄方式将硅基基底表面多余的有机物去除,露出基底上表面;4)通过化学腐蚀的方式将硅基底去除,形成有机微通道;5)通过原子层沉积工艺在有机微通道内部沉积导电层和二次电子发射层,最终得到有机微通道板。本发明方法制备的有机微通道板具有介电常数低,介电损耗小的有点,能够保证分幅相机中脉冲电压的高幅度和低损耗性能,进而提高分幅相机的增益强度和增益均匀性。
主权项1)采用MEMS工艺制备出具有高深宽比结构的硅基基底;所述高深宽比结构为柱状结构;制备采用干法刻蚀或电化学湿法刻蚀;
授权日期2017-01-04
专利号CN201610565485.8
语种中文
专利状态授权
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/29696
专题精密物理量测量实验室
作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
曹伟伟,朱炳利,秦君军,等. 一种采用MEMS工艺制备有机微通道板的方法. CN201610565485.8[P]. 2016-07-18.
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