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多波长同时照明的非相干叠层衍射成像系统及成像方法
韩洋; 何俊华; 闫亚东; 韦明智; 潘安; 万能
2016-02-05
Date Available2016-06-29
Country中国
Subtype发明
Abstract本发明提供一种波长同时照明的非相干叠层衍射成像方法,成像过程包括以下过程:采用至少一种以上的不同激光器照明;出射的激光经过双全反射镜将光线调整至水平射出后通过双宽带分光棱镜合束;再经过空间滤波器扩束,再经过复消色差透镜准直后打到探针上;探针对待测样品进行叠层扫描;使用成像探测器记录各探针扫描位置的衍射图像的强度信息;将记录的衍射图像强度信息代入基于叠层扫描的多路复用迭代算法,恢复待测样品的复振幅分布、探针的复振幅分布和光谱权重。本发明的成像方案与相对应的算法,不仅能够恢复不同波段下对应的复振幅待测样品,同时也能恢复不同波段的光谱权重和不同波段下对应的照明探针的复振幅分布。
Claim0001.1.一种多波长同时照明的非相干叠层衍射成像系统,其特征在于:包括沿光路依次设置的双宽带分光棱镜、空间滤波器、复消色差透镜、探针及成像探测器;还包括激光器,所述激光器的出射光通过双全反射镜垂直射入双宽带分光棱镜;待测样品位于探针和成像探测器之间。
Copyright Date2016-07-27
Patent NumberCN201610083031.7
Language中文
Status审查中-实审
Document Type专利
Identifierhttp://ir.opt.ac.cn/handle/181661/29678
Collection先进光学仪器研究室
Affiliation中国科学院西安光学精密机械研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
韩洋,何俊华,闫亚东,等. 多波长同时照明的非相干叠层衍射成像系统及成像方法. CN201610083031.7[P]. 2016-02-05.
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