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一种非球面检测光路中光学间隔测量系统及方法
付西红; 李华; 马娜娜; 刘杰; 宋冲; 李硕
2016-12-21
公开日期2017-05-31
授权国家中国
专利类型发明
摘要本发明涉及一种带有Offner补偿器的非球面检测光路中光学间隔非接触精密测量的系统及方法,属于非球面检测领域,该系统包括激光干涉仪、镜面定位仪、Offner补偿器、被测非球面镜以及与最佳面形检测光路共光轴的光轴指向十字分划板;该系统有三条自准直检测光路,三条自准直检测光路为同一共光轴光路,即非球面面形误差均方根RMS值最小时的最佳面形检测光路光轴,构建光学间隔检测直线光轴,通过镜面定位仪非接触式测量检测光路中的不同光学间隔,并将其代入光学设计软件中进行复算可得非球面顶点曲率半径R、二次常数K等几何参数值。本发明测量精度约为0.05mm,检测精度高,非接触式测量。
主权项0001.1.一种非球面检测光路中光学间隔测量系统,其特征在于:包括沿光路依次设置的镜面定位仪、十字分化板、Offner补偿器、被测非球面镜、五维调整架二、五维调整架三、五维调整架四和五维调整架五; 所述镜面定位仪放置在五维调整架五上,所述十字分化板放置在五维调整架四上,所述Offner补偿器放置在五维调整架二上,所述被测非球面镜放置在五维调整架三上; 所述镜面定位仪、十字分化板、Offner补偿器和被测非球面镜组成的光路与被测非球面镜的最佳面形检测光路共光轴; 所述镜面定位仪与十字分化板之间的距离大于镜面定位仪的工作距; 所述镜面定位仪和PC机连接。
授权日期2017-06-23
专利号CN201611192915.2
语种中文
专利状态审查中-实审
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/29672
专题系统工程部
作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
付西红,李华,马娜娜,等. 一种非球面检测光路中光学间隔测量系统及方法. CN201611192915.2[P]. 2016-12-21.
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