| 一种基于表面反射像的微米级光电定心方法及装置 |
| 王虎; 沈阳; 樊学武; 刘美莹; 刘阳; 刘杰; 林上明; 潘越
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| 2016-10-31
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公开日期 | 2017-02-08
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授权国家 | 中国
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专利类型 | 发明
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摘要 | 本发明提供了一种基于表面反射像的微米级光电定心方法及装置,方法包括首先将一束激光经分束棱镜分为反射光束和透射光束;其中反射光束经准直后再被反射,原路返回后成像;透射光束准直后会聚于待测物镜表面的曲率中心,被待测镜表面反射后沿原光路返回经分束棱镜反射后成像;用亚像素技术获取像面光斑的质心,根据质心点的坐标就可得出待测元件表面的偏心量。不但可以满足高精度光学定心的要求,而且还可以为未来定心装置的发展提供一种思路。 |
主权项 | 1)将一束激光经分束棱镜分为反射光束和透射光束; |
授权日期 | 2017-02-08
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专利号 | CN201610985236.4
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语种 | 中文
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专利状态 | 审查中-实审
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文献类型 | 专利
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条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/29557
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专题 | 空间光学技术研究室
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作者单位 | 中国科学院西安光学精密机械研究所
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推荐引用方式 GB/T 7714 |
王虎,沈阳,樊学武,等. 一种基于表面反射像的微米级光电定心方法及装置. CN201610985236.4[P]. 2016-10-31.
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