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一种基于表面反射像的微米级光电定心方法及装置
王虎; 沈阳; 樊学武; 刘美莹; 刘阳; 刘杰; 林上明; 潘越
2016-10-31
公开日期2017-02-08
授权国家中国
专利类型发明
摘要

本发明提供了一种基于表面反射像的微米级光电定心方法及装置,方法包括首先将一束激光经分束棱镜分为反射光束和透射光束;其中反射光束经准直后再被反射,原路返回后成像;透射光束准直后会聚于待测物镜表面的曲率中心,被待测镜表面反射后沿原光路返回经分束棱镜反射后成像;用亚像素技术获取像面光斑的质心,根据质心点的坐标就可得出待测元件表面的偏心量。不但可以满足高精度光学定心的要求,而且还可以为未来定心装置的发展提供一种思路。

主权项1)将一束激光经分束棱镜分为反射光束和透射光束;
授权日期2017-02-08
专利号CN201610985236.4
语种中文
专利状态审查中-实审
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/29517
专题空间光学技术研究室
作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
王虎,沈阳,樊学武,等. 一种基于表面反射像的微米级光电定心方法及装置. CN201610985236.4[P]. 2016-10-31.
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