| 基于泽尼克相衬成像的相移干涉显微装置及方法 |
| 郜鹏; 姚保利; 雷铭; 严绍辉; 但旦; 叶彤
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| 2012-07-11
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专利权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所
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授权国家 | 中国
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专利类型 | 发明
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产权排序 | 1
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摘要 | 本发明涉及基于泽尼克相衬成像的相移干涉显微装置及方法,包括沿光的入射方向依次设置的照明单元、显微放大单元以及相衬成像单元;照明单元包括依次沿光路方向设置的扩束系统、多光束照明产生单元、缩束准直单元;扩束系统包括沿光路方向依次设置的激光器、光强控制器和扩束单元;多光束照明产生单元包括沿光路依次设置的锥镜、第一透镜、旋转散射体、第二透镜以及振幅掩模板;被测样品放置在第一物镜和第二物镜之间的焦面上,被测样品和CCD相机满足物像关系。本发明解决了传统泽尼克相衬成像的光晕效应,同时实现了对相位物体的定量测量,光路具有相干噪声小,抗振动性好,横向分辨率高等优点。 |
申请日期 | 2011-04-29
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专利号 | CN102221327
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申请号 | CN201110110119
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专利代理人 | 王少文
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文献类型 | 专利
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条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/21119
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专题 | 瞬态光学研究室
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推荐引用方式 GB/T 7714 |
郜鹏,姚保利,雷铭,等. 基于泽尼克相衬成像的相移干涉显微装置及方法. CN102221327[P]. 2012-07-11.
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