超短脉冲激光并行微加工方法及设备
程光华; 陈国夫; 赵卫; 王屹山; 温泉; 许正芳
2007-09-05
专利权人中国科学院西安光学精密机械研究所
公开日期2007-09-05
授权国家中国
专利类型发明
学科领域物理
申请日期2007-04-09
专利号CN200710017654.5
资助项目超精细微光子器件研究
语种中文
专利状态受理
申请号CN200710017654.5
专利代理人王少文
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/13984
专题中国科学院西安光学精密机械研究所(2010年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
程光华,陈国夫,赵卫,等. 超短脉冲激光并行微加工方法及设备. CN200710017654.5[P]. 2007-09-05.
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